Standardin ISO 14644 tässä osassa määritellään ilman hiukkaspitoisuuden perusteella tehtävä puhdastilojen ja puhtaiden vyöhykkeiden sekä standardin ISO 14644‑7 mukaisten eristettyjen kaappien ja tilojen puhtausluokitus. Luokituksessa otetaan huomioon hiukkaspopulaatioista ainoastaan kumulatiivisen jakauman 0,1 µm…5 µm väliset pitoisuudet. Ilmassa olevan hiukkaspitoisuuden määritys nimetyissä näytteenottokohdissa perustuu hiukkaslaskennassa käytettyyn valonsirontamenetelmään (LSAPC), kun hiukkaskoko on yhtä suuri tai suurempi kuin määritellyt arvot. Standardin ISO 14644 tämä osa ei sovellu sellaisten hiukkaskokopopulaatioiden mukaan suoritettavaan luokitukseen, jotka ovat määritellyn 0,1 µm…5 µm alueen ulkopuolella. Ultrapienten hiukkasten pitoisuuksia (hiukkaskoko alle 0,1 µm) käsitellään omassa standardissaan, jossa luokitus tehdään nanohiukkasten perusteella. Makrohiukkaspopulaatioiden (hiukkaskoko yli 5 µm) laskennassa voidaan käyttää M-termiä (ks. liite C). Standardin ISO 14644 tätä osaa ei voida käyttää karakterisoimaan ilman hiukkasten fysikaalista, kemiallista, radiologista tai elävää luonnetta.
Tämän julkaisun valmistelusta Suomessa vastaa Yhteinen Toimialaliitto, www.ytl.fi.
Sisällysluettelo
Eurooppalainen esipuhe (CEN)
Esipuhe (ISO)
Johdanto
1 Soveltamisala
2 Velvoittavat viittaukset
3 Termit ja määritelmät
3.1 Yleistä
3.2 Ilman hiukkaset
3.3 Olotilat
3.4 Testilaitteisto (ks. liite F)
3.5 Laitteiden määritelmät
4 Luokitus
4.1 Olotilat
4.2 Hiukkaskoot
4.3 ISO-luokan numero
4.4 Nimitys
4.5 Puhtauden väliluokat ja hiukkaskoon väliarvot
5 Vaatimustenmukaisuuden osoittaminen
5.1 Periaate
5.2 Testaus
5.3 Ilman hiukkaspitoisuuden arviointi
5.4 Testiraportti
Liite A Hiukkaspuhtausluokkien määritys käyttäen yksittäisiä hiukkasia laskevaa laitetta (velvoittava)
Liite B Esimerkkejä luokitukseen liittyvistä laskelmista (opastava)
Liite C Ilmassa olevien makrohiukkasten laskeminen ja koon määritys (opastava)
Liite D Sekventiaalinen näytteenottomenetelmä (opastava)
Liite E Puhtauden väliluokkien ja hiukkaskokojen väliarvojen määrittely (opastava)
ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
ISO 14644-7:2004 Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments)
ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
ISO 14644-7:2004 Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments)