Standardin ISO 14644 tässä osassa määritellään vaatimukset, jotka koskevat seurantasuunnitelmaa, jonka mukaisesti seurataan puhdastilan tai puhtaan vyöhykkeen kykyä säilyttää hiukkaspitoisuuden perusteella määritelty puhtausluokka. Vaatimukset perustuvat parametreihin, joilla mitataan ilman hiukkaspitoisuutta tai vaikutetaan siihen. Standardin ISO 14644 tässä osassa ei käsitellä olosuhteiden seurantaa, kuten tärinää tai teknisten järjestelmien yleistä kunnossapitoa. Standardissa ei myöskään seurata hiukkaspopulaatioita, joiden koko ei ole alueella 0,1 µm … 5 µm. Ultrapienten hiukkasten pitoisuuksia (hiukkaskoko alle 0,1 µm) käsitellään omassa standardissaan.
Tämän julkaisun valmistelusta Suomessa vastaa Yhteinen Toimialaliitto, www.ytl.fi.
Sisällysluettelo
Eurooppalainen esipuhe (CEN)
Esipuhe (ISO)
Johdanto
1 Soveltamisala
2 Velvoittavat viittaukset
3 Termit ja määritelmät
4 Seurantasuunnitelman luominen, käyttöönotto ja ylläpito
4.1 Periaate
4.2 Riskinarviointi
4.3 Seurantasuunnitelma
4.4 Kalibrointi
4.5 Katselmus ja hyväksyntä
4.6 Reagoiminen poikkeamiin seurannan aikana
5 Puhtausluokan säännöllinen tarkastus
Liite A Seurantasuunnitelman laadinnassa huomioitavat asiat (opastava)
Liite B Hälytys- ja toimenpidetasojen määrittäminen (opastava)